お客様に納得される
オーダーメイド品を製造・販売しております。
この他にも様々なご要望に
お応えいたします。
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薄膜作成コンポーネント
◆世界最小クラスのＵＨＶ対応
マグネトロンスパッタカソード
◆ICF70マウント可能なEBガン
◆ルツボ最小２cc〜100cc対応Kセル
◆有機・金属材料対応のマルチ抵抗加熱ソース
◆コニカル型蒸着ソース
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スパッタリング装置
◆圧力勾配式スパッタ装置
【PGS model】
◆２インチ３源RFスパッタ装置
◆１インチ３源RF・DC切替スパッタ装置
◆１インチRFスパッタ装置
◆４インチ３源スパッタ装置 |
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真空蒸着装置
◆３連式電子ビーム蒸着装置
◆３源抵抗加熱蒸着装置
◆斜入射型蒸着装置
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有機薄膜蒸着装置
◆グローブボックス連結型有機・金属蒸着装置
◆グローブボックス連結型有機蒸着・スパッタ装置
◆グローブボックス内収納型真空蒸着装置
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グラフェン結晶薄膜・表面分析装置
◆｢MBE法｣と｢表面熱分解法｣併用
グラフェン結晶薄膜成長機構
RHEED/LEED表面分析機構連結insituシステム
◆本装置により結晶成長したグラフェン評価 |
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MBE成長・表面分析システム
◆MBE成長・XPS表面分析システム
◆MBE成長・酸化処理・STM分析システム |
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液体ソースプラズマCVD装置
◆液体ソーププラズマCVD装置 |
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半導体プローブ評価装置
◆有機半導体・EL評価装置
◆高真空高温プローブ装置
◆環境制御評価試験装置 |
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ウェハー表面改質・精密接合装置
◆ウェハーレベルシリコン､金属､石英､
ガラス等､真空〜
任意雰囲気表面改質処理後精密接合装置 |
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接合・加工技術紹介
◆異種金属接合
◆ガラス一金属接合
◆石英/ガラス平面接合
◆石英/ガラス細線加工 |
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超高真空
酸化雰囲気対応基板加熱ヒーター
◆高制御応答性、少ガス放出クリーンヒーター |
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石英精密加工製品
◆光学部品
◆超精密研磨・接合部品
◆石英製クリーンヒーター
◆石英管・石英板材 |
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石英材料・石英加工
◆石英材料
◆半導体向け石英加工 |
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中古理化学機器・装置・設備廃棄・移設作業
◆中古理化学機器・装置
◆設備廃棄・移設作業 |
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