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世界最小クラスのＵＨＶ対応マグネトロンスパッタカソードです。
単品試作から用途に合わせで製作します。
●ヘッド直接ガス導入･水冷式構造
●φ1インチターゲット対応
●マッチングボックス内蔵の専用RF電源付き
●ＵＨＶに対応し､マグネット交換が可能
●お手持ちの真空チャンパーに容易に搭載可能

ICF70よりマウント可能なEBガンです。
●３ｋＷシングル､3連式をラインナップ
●２ccルツボを備えた小型電子銃(最小)
●水冷式接続ポート等､設計製作します。
●水冷式ＵＨＶ対応構造
●豊富なハース材料

ルツボ最小２cc〜100cc対応のKセルです。
●ICF70よりマウント対応
●シャッター機構オプション
●制御電源付き

有機・金属材料対応のマルチ抵抗加熱ソースです。

●任意のフランジに搭載設計します。
●水冷式フレクタオプション
●シャッター機構付き



コニカル型蒸着ソース

円錐状蒸着ルツボを備えた､対抗加熱式蒸着源です。
有機･無機･金属材料を温度モニターしながら安定に蒸着させることができる簡易型蒸着源です。
●アルミナ製Ｗヒーターサセプタ
●アルミナ製ケース･フタ
●アルミナ製ルツボ(容量2cc)