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有機半導体・EL評価装置
有機トランジスタやEL素子の簡易評価装置です。
高真空から大気圧雰囲気でコンタクトプローブさせた基板を
加熱しながら、電気計測･光学測定をすることができます。
コンパクトでありながら、作業性を向上させました。
扉マウント型コンタクトプローブ
高真空高温プローブ装置
SiC等のパワーデバイスを対象とした、
高圧高温対応真空プロパーです。
最大3kV印加に対応した真空プローブと、最大
1,000℃加熱ヒーターにより構成されています。
●基板寸法:20×20(ｍｍ)
●基板加熱温度常用1,000℃
●プローブ:最大印加電圧3kV、微調整テーブル付き(4本)
●光学顕微鏡:長焦点タイプ、移動機構付き
●基板挿入:上蓋手動開閉式
環境制御評価試験装置
各種デバイスやセンサー・太陽電池・ディスプレイ素子などを任意環境雰囲気下で電気・光学測定をする装置です。
真空・大気・酸素・窒素・二酸化炭素等のガス分圧管理とともに、水分濃度コントロールをしながらコンタクトプローブ治具に収納した素子の電気・光学特性変化を計測評価することができます。
コンタクトプローブ治具
