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お客様のニーズにお応えし、金属/セラミック/石英/ガラス等の様々な材料の特徴を生かした
接合加工製品提供しております。

 

異種金属接合
●製作事例 ●技術紹介
弊社の保有する接合技術は、還元雰囲気中にて金属を酸化させることなく接合することを特長としており、これらの技術は電子管製造技術にて培われたノウハウを応用しております。
※接合部の耐環境性能
耐熱温度:-196℃〜900℃(ろう材により変動)
漏れ量:1×10-9Pa ・ m3/sec (He)
※主なろう材
金、銀、銅、ニッケルの合金(780℃〜1083℃)
●開発事例
セラミックにメタライズを施すことにより金属部品と直接ろう付け接合し、耐熱一真空気密・絶縁性に優れた部品を製作することが可能です。また、サファイアと金属の接合も可能であり、ビューイングポート等の製作も行っております。
●用途
真空気密部品、研究開発冶工具、分析機器部品

ガラス一金属接合
●製作事例

●技術紹介
膨張係数の一致したコバール金属とコバールガラスは直接接合することが可能です。
コバール金属を介することで様々な金属チューブをガラス管に変換することができます。
※接合部の耐環境性能
耐熱温度:-196℃〜400℃
漏れ量:1×10-7Pa ・ m3/sec (He)以下

●開発事例
ガラス材料もコバールガラスだけではなく、中間ガラスを用いた段継接合を行うことにより、パイレックスガラスをはじめ膨張係数の大きく異なる石英ガラス、ソーダライムガラスまで用途に応じて材料を任意に選択することが可能です。

●用途
真空部品、研究開発冶工具、分析機器部品、絶縁管



石英/ガラス平面接合
●製作事例
●技術紹介
弊社のガラス平面融着技術は、石英やパイレックス、テンパックス等のホウケイ酸ガラスを熱と圧力によって直接接合します。
接合後は火加工、機械加工による剥がれもなく、強固な接合状態が得られます。
※加工材の大きさ最大8インチ(12インチ開発中)
※表面状態 接合後の表面は白濁した状態となる為、透明性が必要な場合は研磨加工が必要となります。

●開発事例
火加工では困難な加熱変形の少ない高精度の接合が可能で、中空溝部品などの部品を容易に製造することができます。
●用途
半導体製造装置部品、マイクロチップ等の分析機器用セル部品


石英/ガラス細線加工
●製作事例
●技術紹介
石英/ガラスのチューブ・ロットに対し、任意の縮率で相似形状の細線加工を行うことができます。
又、真空成形技術を用いて高精密毛細管や角型・角穴のフローセル、ハーフ管等の各種異形の毛細管も製作可能です。
※製品の大きさ 母材径:φ10〜φ30mm 加工後径:φ0.4〜φ5mm
※精度 高精密管の場合 内径公差±0.01 mm
●開発事例
弊社のガラス接合技術を用い、中空溝の流路母材を接合し、細線加工することにより、角型、中空溝を持つ毛細管の製造も可能。
●用途
分析機器用セル部品、各種毛細管