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MBE成長・XPS表面分析システム
MBEチャンパーとXPS表面分析装置を連結したシステムです。
MBE側ロードロック室とXPS側ロードロック室、および2本のトランスファーロッドより構成されています。
MBE成長・酸化処理・STM分析システム
MBE室と酸化処理室、STM分析室を連結したシステムです。
ロードロック室､２本のトランスファーロットを備えています。
